《半导体洁净室性能检测评价方法》团体标准发布 华康洁净参编

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　　上证报中国证券网讯(记者荆淮侨)华康洁净（301235）6月22日发布消息称，近日，公司参与起草的《半导体洁净室性能检测评价方法》团体标准(T/CIET2176—2025)正式发布。为半导体洁净室性能检测评价领域提供了系统性的标准，为行业树立了统一的技术标尺。

　　据介绍，这一团体标准规定了半导体洁净室性能评价的通用要求、评价内容、评价结论与等级及检测报告，涵盖洁净度、温度、相对湿度、风速、风量、静压差、照度、噪声等共性技术指标，以及气流流型、过滤器标准渗漏过滤率、微振动、防静电、化学污染物、气密性等特性技术指标，为半导体洁净室的性能检测与评价提供了系统化、规范化的技术依据，也为半导体企业选择合适的洁净室供应商提供了重要参考，有助于推动整个行业向更加规范、高效的方向发展。